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关键材料的芯片生产!含电子气体高纯度氟的国产化

发布时间:2020-09-02 20:03:15

据国资委网站介绍,国家科技重大项目超大规模集成电路制造设备及全过程、中国化工研究院承担的高纯四氟化碳、六氟化硫的研发与试验日前通过了国家重点专项项目组的测试与评价,标志着我国大型集成电路工业所需高纯度含氟电子气体的国产化。

高纯含氟电子气体是超大规模集成电路工业中一种必要的清洗和刻蚀气体,它保证了芯片制造过程中VLSI的产生,保证了电路的有效作用。在日韩贸易战爆发之前,日本停止向韩国出口高纯度氟化氢,这引起了市场对氟化工领域的关注,也凸显了独立可控集成电路环节的重要性。这一次,中国高纯度含氟电子气体要实现国产化,该板块有望再次引入催化。

相关公司,根据选定的库存宝库(xuangubao.cn)氟化工行业展示

南达光电

山东飞源煤气(57.97%),主要从事三氟化氮、六氟化硫及其副产品的生产和销售,产品主要面向面板行业和半导体行业。

瓦特气体

公司的光刻产品包括Ar/f/Ne,KR/Ne,Ar/Ne和KR/f/Ne混合物。

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